光學薄膜厚度的光干涉測試方法
作者：蘇俊宏 整理日期：2023-01-12 11:12:04
光干涉計量測試技術是以波長為計量單位，是一種公認的高精度計量測試技術。干涉儀輸出的是一幅干涉圖，借助于數(shù)學物理模型，可以將干涉圖與多種被測參數(shù)相聯(lián)系，從而實現(xiàn)相關物理參數(shù)的測量。薄膜光學常數(shù)(折射率、消光系數(shù))和厚度是薄膜設計和制備所必需的重要參數(shù)，其受制備工藝的影響不同而不同，因此要制備性能穩(wěn)定的薄膜器件，提高生產制備的成品率，就必須精確地檢測出各種制備工藝下薄膜器件的光學常數(shù)和厚度值。在國家國際
光干涉計量測試技術是以波長為計量單位，是一種認可的高精度計量測試技術。干涉儀輸出的是一幅干涉圖，借助于數(shù)學物理模型，可以將干涉圖與多種被測參數(shù)相聯(lián)系，從而實現(xiàn)相關物理參數(shù)的測量。薄膜光學常數(shù)(折射率、消光系數(shù))和厚度是薄膜設計和制備所必需的重要參數(shù)，其受制備工藝的影響不同而不同，因此要制備性能穩(wěn)定的薄膜器件，提高生產制備的成品率，就必須準確地檢測出各種制備工藝下薄膜器件的光學常數(shù)和厚度值。在國家靠前科技合作計劃及省部級科技計劃項目的支持下，以高精度的光干涉測試為原理，開展了以多種光干涉測試方法對光學薄膜厚度的測量研究，形成了基于高精度光干涉測試技術的薄膜厚度測量系列方法。
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